AMHS 赋能半导体智能制作，优艾智合引领全场景机

寰球当先的挪动呆板人处理计划供给商优艾智合（YOUIBOT）克日发布，其专为半导体行业打造的基于 AMHS（Automated Material Handling System，主动物料搬运体系）的干净室主动化物流处理计划，已在寰球实现范围化安排，效劳客户超 300 家，此中不乏台积电、中芯国际、华天科技等寰球半导体龙头企业。此计划笼罩从衬底制备、外延成长、晶圆制作到封装测试的全工业链环节，成为推进半导体智能制作开展的要害力气。半导体系做作为科技工业中心，出产进程对干净度、精度跟稳固性有着严苛请求。传统人工物料搬运方法效力低，且易引入传染与偏差。优艾智合凭仗自立研发的高精度 SLAM 导航技巧与复合呆板人体系，借助 AMHS 胜利霸占半导体系造中的物流主动化困难。其 AMR（自立挪动呆板人）产物可在 Class 1 超净情况中稳固运转，振动值严厉把持在 0.1g 以下，满意晶圆级微震撼克制请求，同时经由过程 CE 跟 SEMI S2 国际认证，操纵精度可达 ±1mm 。优艾智合基于 AMHS 的处理计划，不只硬件机能出色，还搭载自立研发的 Fleet 调理体系。该体系支撑多机型、多场景协同功课，可同时调理 1000 台以上呆板人，实现高效门路计划与静态义务调配。别的，体系支撑可视化编程跟舆图编纂功效，能根据出产需要疾速调剂物流道路，支撑舆图扩建、补建跟部分重修，极年夜晋升了出产线的机动性与可扩大性。在现实利用中，优艾智合的 AMR 体系已胜利进驻多家寰球著名半导体企业出产线。比方在某国际头部晶圆厂的 8 寸晶圆车间，优艾智合应用 50 + 台 OW8 晶圆盒搬运呆板人，借助 AMHS 实现了 SMIF POD 在光刻机、蚀刻机、CMP 等装备间的自立流转，代替传统人工搬运方法。该名目年夜幅下降人力本钱，明显晋升物料处置效力，为工场 7×24 小时持续出产供给牢靠保证。优艾智合开创人表现：“半导体行业正处于智能化进级的要害机会期，咱们努力于经由过程翻新的呆板人技巧跟智能物流处理计划，助力客户实现稳固、柔性、高效的出产经营。将来，咱们也将连续深耕半导体范畴，减速寰球半导体系造的智能化转型过程。”